①真空元件，如闸阀，捕集器.除尘器与真空泵相互连接时，抽气管道应尽量短，管道流导大，软管直径一般不低于泵口直径，这是系统设计的关键原则。但安装和维护也很方便。有时，为了防止地震和降低噪音，机械泵被允许设置在靠近真空室的泵房内。

②机械泵（包括罗茨泵）有振动，为防止振动影响整个系统，一般采用软管减震。软管有两种金属和非金属，无论哪种软管应确保在大气压力的影响下不会被压缩。

③真空系统完成后，应便于测量和泄漏测量。生产实际告诉我们，真空系统在工作过程中往往容易泄漏，影响生产。为了快速发现泄漏，应进行分段泄漏测量，因此每个闸阀关闭的间隔至少应有一个测量点，便于测量和泄漏测量。

④真空系统中配置的闸阀和管道应使系统抽气时间短，使用方便，安全可靠。一般以蒸汽流泵为主泵（扩散泵或油增压泵）；以机械泵为前泵系统，除前管（蒸汽流泵连接机械泵管）外，还应有预真空管（真空室至机械泵管）。二是真空室与主泵之间配备高真空阀（又称主阀），前管道阀（又称低真空阀）；预真空管道阀（称低真空阀）。主泵上的高真空阀一般不能在阀盖下真空，阀盖在大气压下打开，应根据电气联锁确保安全。前管阀和预真空管阀需要考虑阀本身可以在大气压下打开阀门。以蒸汽流泵为主泵的真空系统，主阀盖向主泵，前管阀盖向主泵，预真空管阀盖向真空室。机械泵入口管道上应设置排气阀。机械泵停止运行时，可立即打开阀门，使机械泵入口进入大气，避免机械泵油返回管道，因此阀门应与机械泵电气联锁。排气阀也应设置在真空室上，放料和上料。当阀门设置部分需要考虑放气时，气体冲力较大，以防止因冲力过大而破坏真空室内缺乏部件。排气阀的大小与真空室的体积有关，应考虑放气时间不宜过长，影响工作。

⑤真空系统设计应保证排气稳定可靠，安装、拆卸、维护方便，操作方便，各部件之间的连接可交换。为实现工作排气稳定，规定主泵质量稳定，闸阀操作方便，密封可靠，系统各部件接头不漏气，真空室密封性能好，真空部件连接选择标准尺寸，确保交换。在真空系统设计中，原则上每个封闭管道规格都应该有一个可调的规格。在过去的设计中，软管被用来解决这个可调的规格。现在，在设计系统时，大多数人都不选择软管。通过提高真空元件的加工尺寸精度和连接法兰上的密封橡胶圈来解决安装误差，可以提高系统的强度和刚度，减少系统上的支架，更加美观。

⑥真空系统设计采用新技术，实现自动控制和联锁保护。随着真空技术的发展，规定罗茨泵可以在整个抽气过程中自动操作，如1333真空继电器控制Pa在压力下启动工作。选择压力继电器来控制蒸汽流泵的压力。当水压不足或停水时，可立即切断电源并发出报警。避免燃烧泵。对于真空系统复杂、工艺流程和参数要求严格的机器，应采用微机系统进行控制，更加安全可靠。

⑦真空系统设计规定节能、降低成本、使用方便可靠。实现这一点具有重要的经济意义，可以使定制的真空应用设备具有广泛的市场销售。