01 | 大会信息

安徽博为光电科技有限公司作为一家氦质谱仪和氦检成套设备供应商受邀参展。公司主营业务包含氦质谱检漏仪、差压检漏仪、真空箱氦检漏回收系统、充氦回收系统、真空配件等真空检测相关产品密封性在线监测等，广泛应用在集成电路、分立器件、光电子器和传感器等半导体行业应用中。为半导体行业中芯片制造、设备制造和材料制造带来了独树一帜的解决方案。

此次参展的产品如下：

（1）博为常规式氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪是以氦气为示踪气体，对真空设备及密封器件的微小陋隙进行定位、定量和定性检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简单、操作方便及检测迅速等特点，是高真空检测技术中灵敏度较高，用得比较普遍的检漏仪器。

性能特点：

1. 三屏切换，精准显示；

2. 超远距离蓝牙显示；

3. 系统、单机、吸枪等各种检漏模式；

4. 多种通讯模式。

（2）博为半导体行业专用氦质谱检漏仪

针对于半导体器件生产中，有些工序必须在高真空中进行，例如：磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。该款检漏仪可以在低漏率真空条件下，进行更快的抽空和更短的反应时间。

性能特点：

1. 高精度、高灵敏度；

2. 快速响应；

3. 自保护功能防止检漏仪受到氦气和微粒的污染；

4. 可远程操控。

03 | 诚邀莅临

安徽博为光电科技有限公司邀您共聚上海新国际博览中心，展位号W1C03，不见不散！