导语：在工业制造中，“真空泄漏”一直是产品密封性检测的难题。无论是汽车、电力，还是半导体和真空设备等行业，产品的微小泄漏都可能带来性能下降、效率低、损耗大，甚至引起重大的安全事故。

伴随着制造业的高质量发展要求，各行业对产品密封精度不断提升，一种高灵敏度、高可靠性、可量化的检测方式——氦质谱检漏，正在被越来越多行业作为生产环节中必不可少的泄漏检测方法。

一、什么是氦质谱检漏？为什么一定要用“氦气”？

氦质谱检漏（Helium Mass Spectrometry Leak Detection）是一种利用氦气作为示踪气体，通过质谱仪进行量化分析的真空密封性检测的一种泄漏检测方式。

为什么选择氦气作为首选示踪气体？

01、氦气分子极小，能穿透微小缝隙；

02、 氦气属于惰性气体，不会燃烧、不腐蚀材料；

03、氦气属于稀有气体，在自然背景中浓度极低，易于识别；

04、 氦气在真空环境中扩散速度快。

氦检被广泛认定为目前工业真空密封泄漏检测领域灵敏度最高（可达 10?13 Pa·m3/s）、精度极佳、可靠性非常强的检漏方式。

二、氦检为什么是工业密封性检测的刚需？博为氦检用实际案例带您解密！

01 | 汽车行业-真空箱氦检回收系统解决方案

汽车行业中的很多汽车零部件都需要进行严苛的密封性测试，保证产品质量，从而保障汽车驾驶安全。汽车动力电池领域、汽车空簧、汽车液冷板系统、汽车一体化压铸件、热管理模块等产品都需要进行真空密封性测试来确保汽车安全。而氦检已成为汽车行业主流的真空密封性检测手段。

例如，安徽博为专为动力电池行业开发的一款全自动真空箱氦检漏回收系统——全自动氦检专机。该设备适用于锂电池电芯壳体的泄漏检测，自动化程度高，能实现全自动无人化生产。设备可满足机械手同步上料、下料，工件单独检漏、单独记录，合格品和不合格品自动分拣、输送，极大地减少了人工操作造成的失误。该款项氦检漏设备，检测精度高，误检率低，符合客户产能需求和现代化生产线；而且检测的可靠性相比传统的泄露检测方式，极大地提高了动力电池的安全。

除在电芯壳体氦检外，博为氦检在电池电芯、电池盖板、电池PACK包等密封性检测上，可以对泄漏量和漏率进行精准检测，帮助客户提升电池质量，保障电池安全。动力电池新国标 GB/T 34060中关于热扩散安全要求等法规不断升级，氦检已成为新能源工厂实现“车规级”量产的关键环节。

02 | 电力行业-真空箱氦检回收系统解决方案

随着电力设备迈向高压、高载、高可靠性时代，任何微小的泄漏都可能导致绝缘性能下降、内部受潮及局部放电风险激增，最终引发严重事故。氦质谱检漏技术是当前唯一能够满足电力设备“极微漏等级”检测要求的尖端手段，其意义在于将安全隐患彻底控制在产品的生产制造环节，杜绝安全隐患进入运行现场。

安徽博为光电科技有限公司凭借多年技术积累，为电力行业量身定制电力真空箱氦检漏回收系统解决方案，该系统已成功应用于SF6开关柜/充气柜/环网柜/高压开关等关键设备进行干式检漏。采用箱内充氦箱内检的方式，合理控制工件内外压差范围，不会引起待检产品异常变形，同时采用压力传感器与真空规管同时使用的方式，大大提高了检测安全系数。已服务华能集团、南瑞集团、许继电力、武汉电力、南京海兴、双汇电力、杭州电力集团等客户，超过2000+家电力行业知名企业和上市公司。

03 | 半导体行业-氦检漏系统

氦质谱检漏技术是贯穿半导体产业链各环节中产品密封性泄露检测的“质量守门员”。

在前端制造环节，该系统用于检测晶圆工艺设备：如刻蚀机、CVD反应腔的真空腔体、气体管路和密封部件等的极微泄漏，确保超高真空环境纯净，避免气体污染导致薄膜缺陷。

在后端封装阶段，真空箱氦检系统对MEMS器件、功率芯片、航空航天级集成电路等气密性封装壳体进行批量检测，验证其密封完整性，防止水汽浸入导致内部失效。

此外，在半导体核心零部件制造中，该系统也用于EUV光刻机真空模组、阀门、真空吸盘等关键部件的密封性能验证，从供应链源头保障设备可靠性。

安徽博为光电科技凭借高灵敏度氦检技术，为成功为半导体行业提供从零部件、制程设备到成品芯片的一站式密封性解决方案，全面护航芯片良率与长期寿命。

三、氦检漏到底解决了哪些问题？

结合以上安徽博为光电科技有限公司实际应用，我们可以看到氦检漏的核心价值：

01、检出“微漏”能力极强

灵敏度可达：10?13 Pa·m3/s；传统水检/气检等检测方式无法发现的微小泄漏，但氦检却可以轻松识别。

02、 可量化，不是“凭经验判断”

氦检能告诉你： 漏不漏？漏多少？漏点在哪里？

03、适用于复杂结构，如：

多腔体零件、焊接结构、热管理管路、压缩机壳体、 动力电池 PACK 板换热系统等，这些结构通常比外观看起来更复杂，常规检漏无法准确判断。

以上氦检漏的特点非常适合批量产线判定、不良分级、工艺调优等。

四、安徽博为在做什么？持续创新，自我选代，不断突破!

安徽博为光电科技一直专注于氦质谱检漏技术的研发和生产，主营产品有氦质谱检漏仪、压差检漏仪、真空箱氦检漏回收系统、充氦回收系统、真空配件等。完成自研氦质谱检漏仪 + 多行业真空箱氦检系统解决方案的非标定制。满足：

01、高灵敏度、高精度、高稳定性

满足 10?13 Pa·m3/s 微漏检测需求。

02、 可适配多行业和复杂产品密封性检测

热管理管路、高压阀体、动力电池冷却管路、制冷空调系统、氢能系统等

03、支持产线自动化定制

自动转台、多工位检测、自动加压 / 抽真空、 MES 数据对接非标定制。

安徽博为氦检满足从研发实验室 → 量产工厂的全流程氦检漏系统整体解决方案需求。

五、氦质谱检漏正在成为趋势！安徽博为潜心于技术研发，努力进行产品迭代

随着新能源汽车等行业的转型升级与高质量发展要求，众多行业对产品“真空密封性”的要求不再是选项，而是产品检测的标配环节。

未来，我们将持续：深耕氦检核心技术研发与创新；扩展跨行业的定制化应用；提升自动化、智能化检测能力； 提供更多结构及个性化适配方案。

让每一件经过安徽博为氦检设备检测后离开工厂的产品都密封完好，质量可靠。