氦检设备保养的意义在于，设备在长期、不同环境中的使用过程中，机械的部件磨损，间隙增大，直接影响到设备原有的平衡，设备的稳定性，可靠性，使用效益均会有相当程度的降低，甚至会导致机械设备丧失其固有的基本性能，无法正常运行。因此，设备就要进行大修或更换新设备，这样无疑增加了企业成本，影响了企业资源的合理配置。为此必须建立科学的、有效的设备管理机制，加大设备日常管理力度，理论与实际相结合，科学合理的制定设备的维护、保养计划。        

      为保证机械设备经常处于良好的技术状态，随时可以投入运行，减少故障停机日，提高机械完好率、利用率，减少机械磨损，延长机械使用寿命，降低机械运行和维修成本，确保安全生产；机械保养必须贯彻“养修并重，预防为主”的原则，做到定期保养、强制进行，正确处理使用、保养和修理的关系，不允许“只用不养，只修不养”。

定期的维护保养可以发现隐患于故障发生前期，可以及时有效的预防这些隐患或者故障而带来的重大损失，同时降低故障发生率、保证氦检设备的正常高效运转并能适当的延长机器的使用寿命。

一、定期维保的时间

 建议半年或者一年1次进行一次常规保养，3年进行一次大保养。

1、 常规保养（包括但不限于）

1) 更换或润滑箱内快速接头的密封圈

2) 检查箱体密封圈是否损坏或老化

3) 检查各阀门是否有内外漏现象

4) 检查箱体内是否清洁

5) 建议更换各泵组及压缩机润滑油

6) 测试泵组抽空真空度

7) 测试软件各点是否动作正常流程是否运行正常

8) 测试真空度是否正常，本底及信号值是否正常

9) 关机断电后检查整个系统线类是否松动、接触不良等（重点检查泵组类接线）

10) 检查运动部件固定螺丝是否松动，脱落

11) 检查箱门开关是否顺畅

2.大保养（包括但不限于）

1) 除常规保养外，还将进行检查SV系列泵泵组排气口过滤器、清洁泵组进气口过滤网、泵口波纹管清洁

2）  箱体抽空管道清洁，将管道内壁灰尘及油污清除

3）  清洁PLN真空计接口过滤网

4）  清理泵组内乳化油渍及杂质

二、设备长期不维保将导致的异常情况

1、设备阀头灰尘积多导致气动阀闭阀时漏气影响，检漏精度误判，严重会损坏检漏仪并加速耗材损耗。

2、真空箱门内的密封件属于橡胶制品，长期不更换会开裂，则达不到密封效果，影响真空度和抽速（正常设备15分钟内很快会抽到5pa），还会影响检测环境导致设备经常报警。

3、泵油3-6个月更换1次，长时间不更换会出现乳化现象，导致泵组无法使用。

4、检漏仪精度下降，会出现误检。

5、氦检设备节拍延长，抽真空较慢 。

      设备维修与治病救人一样，需要以预防为主，善于治“未病”，应做好设备的维护工作，避免出现故障，做到防患于未然。