氦质谱检漏仪是以氦气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简单、操作方便及检测迅速等特点，是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较普遍的检漏仪器。
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